用计量型AFM对一维纳米基准栅的标定及不确定度估计

• 作者: 尤焕杰 袁丹 黄强先
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 一维基准栅 计量型原子力显微镜 纳米计量 不确定估计
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 531-536
• 分类号: TH71|TH89
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2012.05.005

摘要

利用轻敲模式的计量型AFM对公称栅距为240nm一维基准样板进行了标定,在充分分析AFM的结构和特性、测量过程、数据处理的基础上,得到了基准栅的平均栅距估计值和扩展不确定度。通过全面的不确定度分析,估计值的扩展不确定度达到了亚纳米量级。该不确定度分析表明,对于纳米量级测量,不确定度估计不仅需要全面掌握测量仪器、测量过程中各种测量不确定因素的影响,还需要考虑和估计常规测量过程中可以忽略的二次误差的影响。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄强先		46	319	9.0	15.0
2	袁丹		5	22	3.0	4.0
3	尤焕杰		5	25	3.0	5.0