篇名 | Mixed polarization in determining the film thickness of a silicon sphere by spectroscopic ellipsometry | ||
来源期刊 | 中国物理B(英文版) | 学科 | |
关键词 | spectroscopic ellipsometry silicon sphere Avogadro constant metrology | ||
年,卷(期) | 2012,(1) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 147-152 | |
页数 | 6页 | 分类号 | |
字数 | 语种 | 英文 | |
DOI | 10.1088/1674-1056/21/1/010701 |