多晶硅制备技术及其研究进展

• 作者: 姜晖琼 张攀 李建隆 陈光辉
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 流态化 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2012,（21）
• 所属期刊栏目: 本期专题:新型硅材料
• 页码范围: 153-158
• 页数: 6页
• 分类号: TB332
• 字数: 5045字
• 语种: 中文

摘要

简述了国内外多晶硅生产工艺的发展和现状,介绍和比较了各种多晶硅的制备方法在产能、能耗及环境友好特性等方面的特点.介绍了多晶硅CVD的原理、反应机理及其研究方法,综述了流态化多晶硅CVD的基本原理、研究现状以及存在的问题.分析表明:利用硅烷流态化技术最有希望降低多晶硅生产成本;数值模拟作为描述CVD过程的重要手段需要进一步完善其模型,特别是对流态化CVD过程,需要建立各种物理化学现象的耦合作用模型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李建隆	青岛科技大学化工学院	115	654	14.0	19.0
2	陈光辉	青岛科技大学化工学院	56	357	11.0	16.0
3	张攀	青岛科技大学机电工程学院	17	130	7.0	11.0
4	姜晖琼		2	16	1.0	2.0