磁控溅射辉光放电特性的模拟研究

• 作者: 丰云 沈向前 肖清泉 谢泉 陈茜
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 磁控溅射 辉光放电 计算机模拟 状态分布
• 年，卷（期）: 2012,（16）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 316-321
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文

摘要

采用二维、自洽的PIC／MCC（particle-in-cell with Monte Carlo collision）方法，模拟了磁控溅射辉光放电过程，重点讨论了工作参数对放电模式和放电电流的影响．模拟结果表明，当工作气压由小到大或空间磁场从强到弱变化时，放电模式会从阴极空间电荷主导的放电模式过渡到阳极空间电荷主导的放电模式．在过渡状态，对应的工作气压与磁通密度分别为0．67Pa和0．05T；随着工作气压的增大，放电电流先增大后趋向平衡，当工作气压超过2．5Pa时，电流开始随工作气压的增大而减小；而阴极电压增大时，放电电流近似线性增加．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢泉	贵州大学理学院新型光电子材料与技术研究所	133	486	12.0	17.0
2	陈茜	贵州大学理学院新型光电子材料与技术研究所	45	194	9.0	12.0
3	肖清泉	贵州大学理学院新型光电子材料与技术研究所	40	199	7.0	13.0
4	沈向前	贵州大学理学院新型光电子材料与技术研究所	5	27	4.0	5.0
5	丰云	贵州大学理学院新型光电子材料与技术研究所	4	24	4.0	4.0