微薄膜结构的湿法腐蚀技术研究

• 作者: 张岩 李玉玲 齐虹
• 来源期刊: 信息技术
• 学科: 工学
• 关键词: 湿法腐蚀 薄膜释放 TMAH KOH
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 108-110
• 分类号: TP212
• 字数: 2400字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-2552.2012.06.029

摘要

通过对流量传感器制造工艺中微薄膜结构的研究,分别介绍了采用氢氧化钾和四甲基氢氧化铵(TMAH)交替腐蚀实现感应薄膜释放的基本原理、工艺方法、工艺参数,及在制作流量芯片中的具体应用实例,实现了微米级厚度薄膜释放,为流量传感器和其它需要超薄薄膜微结构的制作奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐虹		9	25	3.0	4.0
2	李玉玲		9	13	2.0	2.0
3	张岩		9	10	2.0	2.0