辅助气体组成对类金刚石薄膜结构和性能的影响

• 作者: 代海洋 程学瑞 翟凤潇 苏玉玲 陈镇平
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石薄膜 辅助气体组成 中频脉冲非平衡磁控溅射技术 结构 性能
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1643-1646,1650
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 4156字
• 语种: 中文

摘要

分别以氩气-甲烷、氩气-乙炔为辅助气体,高纯石墨为靶材,利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备了类金刚石薄膜.采用Raman光谱、X射线光电子能谱、纳米压痕测试仪、原子力显微镜对所制备类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌进行了分析.Raman光谱和X射线光电子能谱测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜中sp3杂化键的含量比以氩气-乙炔为辅助气体制备的类金刚石薄膜的高.纳米压痕测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的纳米硬度比以氩气-乙炔为辅助气体的高.原子力显微镜测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度比以氩气-乙炔为辅助气体的低.以上结果说明辅助气体组成对类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌有较大的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈镇平	郑州轻工业学院技术物理系	55	139	6.0	8.0
2	苏玉玲	郑州轻工业学院技术物理系	34	97	5.0	8.0
3	翟凤潇	郑州轻工业学院技术物理系	12	23	3.0	3.0
4	代海洋	郑州轻工业学院技术物理系	18	36	4.0	4.0
5	程学瑞	郑州轻工业学院技术物理系	16	14	2.0	3.0