多晶硅太阳电池表面激光织构工艺研究

• 作者: 佘鹏 曾梦麟
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: 多晶硅太阳电池 减反射 激光织构
• 年，卷（期）: 2012,（24）
• 页码范围: 16-18,22
• 页数: 4页
• 分类号: O435.1
• 字数: 2961字
• 语种: 中文

摘要

采用激光刻蚀,辅以化学溶液腐蚀对多晶硅片进行了表面织构.利用扫描电镜(SEM)、Helios LAB-rc反射率测试仪和Semilab WT2000少子寿命仪对样品进行了表征.结果表明,多晶硅表面经激光织构后表现出很好的陷光效果,反射率降低为8.0％.激光织构使硅片的少子寿命缩短,通过沉积Al2O3钝化薄膜可改善多晶硅片的电学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	佘鹏	湖南大学微纳光电子器件及应用教育部重点实验室	1	4	1.0	1.0
2	曾梦麟	湖南大学微纳光电子器件及应用教育部重点实验室	2	7	2.0	2.0