微弧氧化法及其在铁电薄膜制备中的应用

• 作者: 李文芳 王敏 郭会勇
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 微弧氧化 铁电薄膜 阳极氧化
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 40-42
• 分类号: TB383.2
• 字数: 3274字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-023X.2012.01.009

摘要

介绍了微弧氧化法的基本原理和工艺过程；综述了微弧氧化法制备铁电薄膜的发展历程及最新研究进展；讨论了目前微弧氧化制备铁电薄膜过程中存在的主要问题；提出了合理选择溶液体系和溶液浓度,研究工艺参数对薄膜表面形貌和铁电、介电性能的影响,提高薄膜表面质量是促进微弧氧化制备铁电薄膜技术发展的关键.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李文芳	华南理工大学材料科学与工程学院	157	1463	20.0	30.0
2	王敏	华南理工大学材料科学与工程学院	14	180	6.0	13.0
4	郭会勇	华南理工大学材料科学与工程学院	6	14	3.0	3.0