TiO2过渡层对Si基ZnO薄膜光致发光特性的影响

• 作者: 刘振中 刘照军 张伟英 赵建果
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 过渡层 TiO2薄膜
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 31-33
• 分类号: O484
• 字数: 2758字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-023X.2012.06.009

摘要

采用直流反应溅射法在Si(100)衬底上制备了有TiO2过渡层的ZnO薄膜,并与直接在Si上生长的样品进行比较.通过X射线衍射技术和光致发光谱等分别对ZnO薄膜的结构和光学性质进行测量和分析.测量结果表明,引入过渡层后ZnO薄膜的平均晶粒尺寸变大,晶粒间界变少,结晶质量提高,薄膜内的应力得到一定程度的释放.此外,室温光致发光谱表明过渡层使ZnO薄膜的紫外发射明显增强,并研究和分析了其微观机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘照军	洛阳师范学院物理与电子信息学院	32	163	7.0	11.0
3	赵建果	洛阳师范学院物理与电子信息学院	8	5	2.0	2.0
5	张伟英	洛阳师范学院物理与电子信息学院	11	9	2.0	2.0
9	刘振中	洛阳师范学院物理与电子信息学院	22	24	3.0	4.0