带介质分布式Bragg反射镜结构高性能共振腔发光二极管的研究

• 作者: 关宝璐 汤益丹 沈光地 蒋文静 郭霞 韩金茹
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 发光二极管 共振腔 介质分布式布拉格反射镜 辐射增强
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 504-511
• 分类号: O435.1
• 语种: 中文

摘要

采用等离子体增强化学气相沉积高低频交替生长法生长了SiO_2/Si_3N_4透明介质分布式：Bragg反射镜（DDBR）,提出了对DDBR采用干、湿法并用的腐蚀方法.采用传输矩阵法理论分析了DDBR,得出了为满足出光增益要求的反射率和DDBR结构.使用光致发光（PL）谱仪测量分析了DDBR反射谱和光致发光谱,获得了使光致发光谱辐射增强的DDBR结构,在整个光致发光谱380-780 nm波段,整体辐射增强1.058倍,在谐振波长处辐射增强1.5倍,半峰全宽值由23 nm变窄为10.5nm,获得了很好的光谱纯度.利用最优DDBR结构制成了高性能共振腔发光二极管器件,与普通结构相比,实现了低开启电压1.78 V;在20 mA注入电流下,轴向光强提高了20%,光功率和光效分别提高了27.7%和26.8%,光功率衰减缓慢;在O-100 mA注入电流下,没有明显的下降趋势,表现出了良好的温度稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈光地	北京工业大学光电子技术省部共建教育部重点实验室	192	1444	18.0	29.0
2	郭霞	北京工业大学光电子技术省部共建教育部重点实验室	54	397	11.0	16.0
3	关宝璐	北京工业大学光电子技术省部共建教育部重点实验室	18	82	6.0	8.0
4	蒋文静	北京工业大学光电子技术省部共建教育部重点实验室	7	15	2.0	3.0
5	汤益丹	北京工业大学光电子技术省部共建教育部重点实验室	2	13	2.0	2.0
6	韩金茹	北京工业大学光电子技术省部共建教育部重点实验室	3	11	2.0	3.0