双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究

• 作者: 刘永新 毕振华 王友年 蒋相站 陆文琪
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 双频容性耦合等离子体 径向均匀性 全悬浮双探针 二维流体模型
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体物理和放电物理
• 页码范围: 276-282
• 分类号: TN972
• 语种: 中文

摘要

利用自主研制的全悬浮双探针,对影响双频容性耦合等离子体径向均匀性的因素进行了研究.发现低频功率、放电气压和放电间距对径向均匀性有明显影响.合适的低频功率、放电气压及较大的极板间距可以得到更均匀的等离子体.采用与实验相同的放电参数,利用改进的二维流体模型进行理论模拟,得到了不同极板问距下径向离子密度分布,并和实验测量结果进行了比较,两者的变化趋势基本符合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆文琪	大连理工大学物理与光电工程学院	13	101	7.0	9.0
2	蒋相站	大连理工大学物理与光电工程学院	1	7	1.0	1.0
3	刘永新	大连理工大学物理与光电工程学院	3	8	1.0	2.0
4	毕振华	大连理工大学物理与光电工程学院	3	25	3.0	3.0
5	王友年		1	7	1.0	1.0