质子辐照下Mo/Si多层膜反射镜的微观结构状态

• 作者: 万明珍 关庆丰 吕鹏 王孝东 陈波 顾倩倩
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 空间太阳望远镜 Mo/Si多层膜 微观结构 反射率
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：结构、力学和热学性质
• 页码范围: 324-330
• 分类号: TH74
• 语种: 中文

摘要

利用透射电子显微镜对质子辐照前后空间太阳望远镜Mo/Si多层膜的微观结构进行了表征,并对其辐照前后反射率的变化进行了测量.研究表明,Mo/Si多层膜经质子辐照后形成了一些缺陷结构,局部区域Mo/Si的周期性遭到破坏,Mo层与si层的宽度发生了变化,多层膜层与层之间的界面也比辐照前更为粗糙,部分层状结构由于质子辐照发生了明显的扭曲和折断等现象;此外,质子辐照导致了Mo/Si多层膜反射率的下降,这些微观缺陷的形成是光学性能降低的直接诱因.