中带电压法分离栅控横向pnp双极晶体管辐照感生缺陷

• 作者: 任迪远 周东 孙静 席善斌 文林 王志宽 陆妩
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 中带电压法 栅控 横向pnp双极晶体管 电荷分离
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 350-355
• 分类号: TN322.8
• 语种: 中文

摘要

设计并制作了一种新型双极测试结构,即在常规横向pnp双极晶体管基区表面氧化层上淀积一栅电极,通过扫描栅极所加电压,获得漏极（集电极）电流随栅极电压的变化特性,利用中带电压法分离栅控横向pnp双极晶体管在辐照过程中感生的氧化物陷阱电荷和界面陷阱电荷.本文对设计的晶体管测试结构和采用的测试方法做了具体介绍.