射频功率对辉光放电H2/C4H8等离子状态的影响

• 作者: 何小珊 何智兵 李蕊 杨向东 牛忠彩
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 辉光放电聚合技术 等离子体 质谱诊断
• 年，卷（期）: 2012,（21）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 336-342
• 分类号: O461.21
• 语种: 中文

摘要

采用辉光放电技术和等离子体质谱诊断技术, 研究了H2/C4H8混合气体等离子体中正离子成分及主要正离子能量随射频功率的变化规律, 并分析了H2/C4H8混合气体主要的离解机理和形成过程. 研究表明： 随着射频功率的增加, 碳氢碎片离子的浓度增加, 在20 W时达到最大值, 25 W后有所减小. 当射频功率小于10 W时, H2/C4H8混合气体等离子体中C4H9＋相对浓度最大, 当功率大于或等于10 W时, C3H3＋相对浓度最大. 随着射频功率的增大, 碳氢碎片离子的能量逐渐增加. 对H2/C4H8混合气体等离子体的组成与能量进行的定性分析, 将为H2/C4H8混合气体辉光放电聚合物涂层工艺参数优化提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨向东	四川大学原子与分子物理研究所	278	1103	14.0	21.0
2	何小珊	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	15	26	4.0	4.0
3	李蕊		1	4	1.0	1.0
4	何智兵		1	4	1.0	1.0
5	牛忠彩		1	4	1.0	1.0