热式气体质量流量计的仿真和研究

• 作者: 尹义海 张瑞林 徐静勇 戴冠霞 郭增军
• 来源期刊: 中国计量
• 学科: 工学
• 关键词: 热式气体质量流量计 MEMS技术 天然气压力 传感器系统 仿真 容积计量 天然气流量计 测量准确度
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 技术篇
• 页码范围: 74-76
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2479字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-9364.2012.10.066

摘要

传统的天然气流量计主要采用容积计量．容易受天然气压力和温度的影响．而且不能反映天然气的成分变化（质量变化）。另外．现有计量仪表不能很好地计量出较小的流量．对较大的流量又存在饱和等问题．严重影响了计量的准确性。本文介绍一种根据传热原理．基于MEMS技术的传感器系统。利用MEMS技术设计的传感器系统体积小、测量准确度高、误差小，可以精确测量管道内气体的质量流量。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭增军		8	25	2.0	4.0
2	尹义海		4	1	1.0	1.0
3	张瑞林		4	3	1.0	1.0
4	戴冠霞		2	8	1.0	2.0
5	徐静勇		1	1	1.0	1.0