悬浮型微波共振探针在电负性容性耦合等离子体中电子密度的测量

• 作者: 吉亮亮 唐中华 苏晓东 辛煜 邹帅
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电负性等离子体 微波共振探针 电子密度
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 293-300
• 分类号: O53
• 语种: 中文

摘要

本文首先利用悬浮型微波共振探针测量了Ar等离子体的电子密度,并与朗缪尔双探针的测量结果进行了比较,表明了微波共振探针在低密度等离子体测量的可行性.对40.68 MHz单射频容性耦合Ar/SF_6和SF_6/O_2等离子体的测量结果表明：电负性气体SF_6掺入Ar等离子体显著降低了等离子体电子密度,但随着增加SF_6的流量,电子密度表现为缓慢下降;而O_2掺入SF_6等离子体中,电子密度则随着O_2流量的增加表现为持续的下降.另外,40.68 MHz/13.56 MHz双频激发的SF_6/O_2容性耦合离子体的电子密度并不随低频功率的变化而变化.本文对上述的实验现象进行了初步的解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	辛煜	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	38	176	8.0	10.0
2	苏晓东	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	5	17	2.0	4.0
3	邹帅	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	1	11	1.0	1.0
4	唐中华	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	2	19	2.0	2.0
5	吉亮亮	苏州大学物理科学与技术学院江苏省薄膜材料重点实验室	2	11	1.0	2.0