金属互连电迁移噪声的非高斯性模型研究

• 作者: 何亮 孙鹏 杜磊 陈华 陈文豪 韩亮 黄晓君
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电迁移 噪声 非高斯性
• 年，卷（期）: 2012,（20）
• 页码范围: 358-366
• 分类号: TN911.23
• 语种: 中文

摘要

根据电子散射理论，多晶互连中，电阻主要起源于晶界处空位与空洞对电子的散射作用．通过引入自由体积的概念，模拟了晶界处电子的散射过程，建立了基于自由体积的噪声非高斯性表征模型．该模型表明，电迁移前期的噪声信号以高斯噪声为主，随电迁移过程将发生噪声信号从高斯性向非高斯性的突变，表明噪声产生机制发生了转变，并通过双相干系数对信号的非高斯性进行了定量表征．最终，通过实验初步证明了理论结果的正确性．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜磊	西安电子科技大学技术物理学院	99	486	13.0	18.0
2	何亮	西安电子科技大学技术物理学院	36	212	7.0	14.0
3	陈华	西安电子科技大学技术物理学院	17	68	5.0	8.0
4	陈文豪	西安电子科技大学技术物理学院	15	128	6.0	11.0
5	孙鹏	西安电子科技大学技术物理学院	16	70	4.0	8.0
6	韩亮	西安电子科技大学技术物理学院	16	38	3.0	6.0
7	黄晓君	西安电子科技大学技术物理学院	1	0	0.0	0.0