Be原子在Be基底上的沉积过程研究

• 作者: 吴卫东 徐嘉靖 程新路 黄晓玉
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 分子动力学 表面粗糙度 坐标数 单个原子势能
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：结构、力学和热学性质
• 页码范围: 383-388
• 分类号: O562.1
• 语种: 中文

摘要

利用分子动力学方法模拟了Be原子在Be基底上的沉积过程.模拟了沉积粒子不同入射动能条件下,沉积薄膜表面形态的差异.在一定能量范围内,增加粒子入射动能可以减小薄膜的表面粗糙度.但是,过高的入射动能,不利于减小薄膜表面粗糙度.通过沉积薄膜中原子配位数以及单个原子势能沿薄膜厚度的分布,分析沉积原子入射动能对于薄膜及表面结构的影响.沉积动能较大时,薄膜的密度较大;单个原子势能沿薄膜厚度分布较为连续;同时薄膜中原子应力沿薄膜厚度分布较为连续.最后,分析了沉积粒子能量转化的过程、粒子初始动能对基底表面附近粒子局部动能增加的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程新路	四川大学原子与分子物理研究所	174	597	12.0	14.0
2	徐嘉靖	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	12	59	5.0	7.0