衬底对薄膜光学特性的研究

• 作者: 曾璞 赖冬寅
• 来源期刊: 科学时代
• 关键词: PECVD 非晶硅薄膜 衬底 氮化硅
• 年，卷（期）: 2012,（13）
• 所属期刊栏目: 专题研究
• 字数: 1914字
• 语种: 中文

摘要

本文采用PECVD法制备非晶硅薄膜，采用了氮化硅、氧化硅、单晶硅和铂四种衬底，研究在不同衬底上制备的非晶硅薄膜的光学特性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾璞		3	6	1.0	2.0
2	赖冬寅		10	12	2.0	3.0