基于多层膜结构的亚波长光栅研究

• 作者: 梁高峰 王长涛 罗先刚 赵泽宇 赵青 陈欣
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 表面等离子体 超分辨成像 纳米光刻技术
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 电磁学、光学、声学、传热学、经典力学和流体动力学
• 页码范围: 178-183
• 分类号: TN405.98
• 语种: 中文

摘要

利用表面等离子体共振效应理论及金属一介质复合膜的特殊纳米光学效应对平面多层膜超分辨光刻技术进行了研究．在曝光光源为365nm的情况下，实现周期230nm，线宽100nm的超分辨光刻成像．讨论了均匀金属一介质多层膜的结构参数选择，并通过数值仿真得到有效的光强度和对比度，然后用等离子体纳米光刻进行试验验证，通过最优化选择，最终得到了亚波长结构多层膜的大区域范围超分辨成像．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵青	电子科技大学物理电子学院	58	420	12.0	16.0
2	罗先刚	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	52	315	9.0	15.0
3	赵泽宇	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	13	47	4.0	6.0
4	王长涛	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	14	65	5.0	7.0