射频电感耦合夹层等离子体中的模式转换

• 作者: 任爱民 刘宇 孟刚 张生俊 曹金祥 杜寅昌 汪建 郑哲
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 化学
• 关键词: ICP放电 E—H模 等离子体源 等离子体光谱
• 年，卷（期）: 2012,（19）
• 所属期刊栏目: 气体、等离子体和放电物理
• 页码范围: 337-342
• 分类号: O657.31
• 语种: 中文

摘要

本文利用微波相位法和光谱诊断法，研究了ICP放电等离子体在圆台状夹层等离子体中E模和H模相互转换的物理现象．E模和H模的之间转换过程是一个瞬间突变的，转换点的输入功率随真空室压强的变化而变化．H模向E模转换的阈值功率低于E模向H模转换的值，等离子体参数随输入功率变化曲线类似于铁磁物质中的磁滞回线．Ar∏408．2nm谱线的强度的变化规律和电子密度随功率变化的规律基本一致．通过本实验可以获得一种电子密度范围为3．85×1011cm-3〈ne〈4．68×1011cm-3，外表面积为0．3m2，厚度为2cm稳定工作的等离子体源．