A12o3钝化及其在晶硅太阳电池中的应用

• 作者: 刘杰 刘邦武 夏洋 张祥 李超波 沈泽南
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铝(A1203) 原子层沉积 晶硅太阳电池 钝化
• 年，卷（期）: 2012,（18）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 444-452
• 分类号: TQ153.2
• 语种: 中文

摘要

介绍了A1203的材料性质及其原子层沉积制备方法，详细阐述了该材料的钝化机制（化学钝化和场效应钝化），并从薄膜厚度、热稳定性及叠层钝化等角度阐释其优化方案．概述了Al203钝化在晶体硅太阳电池中的应用，主要包括钝化发射极及背面局部扩散电池和钝化发射极及背表面电池．最后，对A1203钝化工艺的未来研究方向和大规模的工业应用进行了展望．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘杰	中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室	218	1905	24.0	36.0
2	夏洋	中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室	67	325	9.0	14.0
3	李超波	中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室	31	120	7.0	9.0
4	张祥	中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室	19	120	7.0	10.0
5	刘邦武	中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室	17	96	6.0	8.0
6	沈泽南	中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室	3	30	3.0	3.0