固体金属二次电子发射的Monte-Carlo模拟

• 作者: 常天海 郑俊荣
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 二次电子 Monte．Carlo 发射系数 能谱分布
• 年，卷（期）: 2012,（24）
• 所属期刊栏目: 基本粒子物理学与场
• 页码范围: 141-148
• 分类号: O462.2
• 语种: 中文

摘要

二次电子的发射在生产实践中有着广泛的应用，但其相关测量结果受实验环境和实验仪器的影响很大．在实验中难以精确测量．所以本文建立了一个包含二次电子激发、在固体内部传输和最后逸出固体表面的二次电子系统模型．采用Monte-Carlo的模拟方法仿真二次电子运动轨迹，定量分析二次电子的发射系数和能谱分布．并探讨它们与一次电子的入射角度和入射能量的关系．仿真结果表明：本文建立的二次电子系统模型能较好地反映实际情况．通过该模型仿真，可以定量得到二次电子发射系数和能谱分布与一次电子的入射能量和入射角度的关系．

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	常天海	华南理工大学电子与信息学院	67	317	10.0	14.0
2	郑俊荣	华南理工大学电子与信息学院	1	3	1.0	1.0