利用等离子体辅助脉冲磁控溅射实现多晶硅薄膜的低温沉积

• 作者: 徐军 朱明 苏元军 范鹏辉 董闯
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 多晶硅薄膜 电感耦合等离子体 磁控溅射 拉曼散射
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 页码范围: 499-508
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文

摘要

本文报道了利用电感耦合等离子体辅助中频直流脉冲磁控溅射在温度300℃以下沉积氢化多晶硅薄膜的制备方法.利用拉曼散射、X射线衍射、透射电子衍射和傅里叶红外光谱对多晶硅薄膜进行了表征.详细研究了氢气在沉积过程中所起的作用,并结合Langmuir探针和发射光谱等等离子体诊断方法,对辅助等离子体源在多晶硅薄膜制备过程中所起到的作用进行了讨论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董闯	大连理工大学三束表面改性教育部重点实验室	198	2023	23.0	34.0
2	徐军	大连理工大学三束表面改性教育部重点实验室	51	346	11.0	14.0