扫描电子显微镜的结构及对样品的制备

• 作者: 夏芳敏 孔梅梅 张立永 林中山 王醒东
• 来源期刊: 广州化工
• 学科: 化学
• 关键词: 扫描电子显微镜 离子溅射 真空蒸发 制样
• 年，卷（期）: 2012,（19）
• 所属期刊栏目: 专论与综述
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 分类号: O657.32
• 字数: 2677字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9677.2012.19.013

摘要

扫描电子显微镜作为一种有效的分析工具,可对多种材料的表面形貌进行观察,使用范围广泛。本文论述了扫描电子显微镜的原理及结构,介绍了样品导电处理的常见方法,重点介绍了离子溅射法和真空蒸发法,并对二者的特点进行了简单总结。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王醒东		37	223	7.0	13.0
2	孔梅梅		5	103	4.0	5.0
3	张立永		26	150	6.0	12.0
4	夏芳敏		10	116	5.0	10.0
5	林中山		7	106	4.0	7.0