一种混合智能的Interbay系统调度方法

• 作者: 吴立辉 张洁 颜丙生
• 来源期刊: 计算机工程
• 学科: 工学
• 关键词: 晶圆制造 Interbay系统 调度 多目标 匈牙利方法 模糊逻辑
• 年，卷（期）: 2012,（22）
• 所属期刊栏目: 工程应用技术与实现
• 页码范围: 228-231
• 分类号: TH166
• 字数: 3380字
• 语种: 中文

摘要

为提高晶圆制造Interbay物料运输系统的多目标调度性能,提出一种混合智能的Interbay系统调度方法.采用Takagi-Sugeno模糊逻辑方法对晶圆卡运输成本模型的参数权重进行自适应调节,用匈牙利方法对Interbay系统的运输小车和晶圆工件进行优化指派.实验结果表明,该方法在Interbay系统和晶圆加工系统的多目标综合性能方面优于传统方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洁	上海交通大学机械与动力工程学院	187	1538	20.0	32.0
2	颜丙生	河南工业大学机电工程学院	30	173	7.0	12.0
3	吴立辉	河南工业大学机电工程学院	39	133	6.0	9.0