直流脉冲磁控反应溅射技术制备掺铝氧化锌薄膜的研究

• 作者: 冀勇 卢景霄 张增院 赵孟珂 郜小勇 陈超 马姣民
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 掺铝氧化锌薄膜 直流脉冲磁控反应溅射 光学性质 氧氩比
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：结构、力学和热学性质
• 页码范围: 338-343
• 分类号: O484
• 语种: 中文

摘要

采用直流脉冲磁控反应溅射技术,在不同氧氩比（GFR）条件下玻璃衬底上制备了一系列掺铝氧化锌（AZO）薄膜,并利用X射线衍射、扫描电子显微镜和分光光度计从宏观应力和微观晶格畸变的角度研究了GFR对薄膜结构、表面形貌和光学特性的影响.制备的多晶AZO薄膜呈现了明显的ZnO-（103）择优取向,这归结于3 h薄膜沉积过程中伴随的退火引起的薄膜晶面能转变.随着GFR的增大,AZO薄膜内宏观拉应力先增大到最大值,随后宏观压应力随着GFR的继续增大而增大.薄膜中的宏观应力明显随着GFR从拉应力向压应力转变.这与晶格微观畸变诱导的微观应力的研究结果趋势恰恰相反.随着GFR的增加,薄膜在可见光区的平均透射率先增加后减小,薄膜晶粒尺寸诱导的晶界散射是影响薄膜透射率的主导机制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郜小勇	郑州大学物理工程学院	52	301	10.0	14.0
2	卢景霄	郑州大学物理工程学院	100	570	12.0	17.0
3	陈超	郑州大学物理工程学院	14	28	3.0	4.0
4	冀勇	郑州大学物理工程学院	9	33	3.0	5.0
5	马姣民	郑州大学物理工程学院	6	8	2.0	2.0
6	张增院	郑州大学物理工程学院	4	6	2.0	2.0
7	赵孟珂	郑州大学物理工程学院	2	2	1.0	1.0