椭圆偏振光谱实时在线监测与离线分析微晶硅薄膜的生长

• 作者: 卢景霄 李新利 李瑞 杨仕娥 焦岳超 谷锦华 郜小勇 陈永生 高海波
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 微晶硅薄膜 籽晶法 高速沉积 实时在线椭圆偏振光谱
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：结构、力学和热学性质
• 页码范围: 398-404
• 分类号: O433
• 语种: 中文

摘要

采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术高速沉积了有无籽晶层两个系列微晶硅薄膜.通过椭圆偏振光谱、拉曼光谱和XRD对薄膜进行了分析,发现采用籽晶层后,在薄膜沉积初期有促进晶化的作用;由于籽晶层减少了薄膜的诱导成核时间,提高了薄膜的沉积速率.对比了实时在线和离线椭圆偏振光谱两种测量状态对分析微晶硅薄膜的影响.研究发现,当薄膜较薄时,实时在线测量得到的薄膜厚度小于离线下的数值;当薄膜较厚时,两种测量条件下得到的薄膜厚度差异较小;实时在线条件下得到的表面粗糙度要大于离线条件下得到的数值,这是由于薄膜暴露在大气中后表面有硅氧化物生成,对表面有平滑作用.