不同氮流量制备Mn3CuNx薄膜及其电、磁输运性质的研究

• 作者: 丁磊 王聪 纳元元 褚立华 闫君
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 反钙钛矿结构 Mn3CuNx薄膜 氮含量 电输运性质
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：结构、力学和热学性质
• 页码范围: 391-397
• 分类号: O484.1
• 字数: 4299字
• 语种: 中文

摘要

采用对靶磁控溅射方法在单晶Si（100）基片上制备了反钙钛矿结构的Mn3CuNx薄膜.通过控制制备过程中的反应气体氮气（N2）流量（N2/Ar＋N2）,研究了氮含量对Mn3CuNx薄膜结构及物理性能的影响.分别利用X射线衍射仪、俄歇电子能谱、原子力显微镜、X射线光电子能谱、物理性能测试系统和超导量子干涉仪,对所制备薄膜的晶体结构、成分、表面形貌和电、磁输运性质进行了测试.结果表明：制备的薄膜均为反钙钛矿立方结构,且沿（200）晶面择优生长.随着氮含量的增大,薄膜表面粗糙度和颗粒度尺寸逐渐增大,导致电阻率增加.氮含量对薄膜的电输运性质没有影响,所有薄膜电阻率均随着温度的降低逐渐增大,呈现半导体型导电行为,这与对应的块体材料结果相反.Mn3CuNx薄膜随着测试温度的增大发生了亚铁磁到顺磁的磁转变,且N含量的增大降低了磁有序转变温度,主要是由于N缺陷对Mn6N八面体结构中磁交换作用的影响所致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫君		3	13	2.0	3.0