高质量大面积石墨烯的化学气相沉积制备方法研究

• 作者: 周玉修 李铁 王文荣。 王跃林 谢晓明
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨烯 化学气相沉积 Raman光谱 电学性能
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学交叉学科及有关科学技术领域
• 页码范围: 510-516
• 分类号: TQ324.21
• 语种: 中文

摘要

石墨烯因其奇特的能带结构和优异的物理性能而成为近年来研究的热点,但是目前单层石墨烯的质量与尺寸制约了其实际应用的发展.本文采用常压化学气相沉积（CVD）方法,基于铜箔衬底,利用甲烷作为碳源制备了高质量大面积的单层与多层石墨烯.研究发现：高温度、稀薄的甲烷浓度、较短的生长时间以及合适的气体流速是制备高质量、大面积石墨烯的关键.Raman光谱、扫描电子显微镜、透射电子显微镜等表征结果表明：制备的石墨烯主要为单层,仅铜箔晶界处有少量多层石墨烯.电学测试表明CVD制备的石墨烯在低温时呈现出较明显的类半导体特性;薄膜电阻随外界磁场的增大而减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王跃林		13	138	6.0	11.0
2	李铁		5	50	3.0	5.0
3	王文荣。		1	35	1.0	1.0
4	周玉修		1	35	1.0	1.0