浅析离子注入技术

• 作者: 凌筱清 顾翊锬
• 来源期刊: 科技风
• 关键词: 离子注入 主要特点 特性分析 控制方法
• 年，卷（期）: 2012,（22）
• 所属期刊栏目: 科技前沿
• 页码范围: 40
• 页数: 1页
• 字数: 956字
• 语种: 中文

摘要

离子注入技术是20世纪60年代开始发展起来的一种在很多方面都优于扩散方法的掺杂工艺.集成电路工业的发展已对离子注入技术提出了越来越高的要求.本文通过介绍离子注入技术的原理和目的,主要特点,特性分析,可以清楚地认识到离子注入技术的重要性,对离子注入技术的改进是未来高精工艺的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	凌筱清		2	4	1.0	2.0
2	顾翊锬		1	4	1.0	1.0