试论改良西门子法生产多晶硅的工艺

• 作者: 屈宁 王赫
• 来源期刊: 华章
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 改良西门子法 工艺设计
• 年，卷（期）: 2012,（24）
• 所属期刊栏目: 应用技术与其它
• 页码范围: 348
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2492字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-5489.2012.24.315

摘要

多晶硅是硅产品产业链中的一个非常重要的中间产品,是制造硅抛光片、太阳能电池及高纯硅制品的主要原料,是信息产业和新能源产业最基础的原材料.改良西门子法生产多晶硅是目前最为成熟、应用最广泛、扩展速度最快的技术.本文对改良西门子法生产多晶硅的工艺流程作了介绍,并阐述了工程设计中需注意的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	屈宁		6	4	1.0	2.0
2	王赫		3	3	1.0	1.0