镁合金表面注N及直流磁控溅射Ti-TiN膜研究

• 作者: 吴明忠 张德秋 李慕勤 王晶彦 王龙权
• 来源期刊: 中国体视学与图像分析
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 注N Ti-TiN膜 摩擦磨损 腐蚀
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 12-17
• 页数: 6页
• 分类号: TB383.2
• 语种: 中文

摘要

在镁合金表面经注N后,通过改变Ar/N2流量比研究直流磁控溅射Ti-TiN膜对镁合金表面耐蚀性和耐磨性影响.利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等手段分析镀膜的表面形貌和组织结构,通过显微压痕实验测定镀膜的结合情况,通过动电位极化和摩擦磨损试验研究镀膜的耐蚀性和耐磨性.结果表明:镁合金进行溅射清洗、氮离子注入再进行磁控溅射Ti-TiN膜,可以提高镀膜的结合效果,膜表面产生Ti、TiN晶相,可有效地改善镁合金AZ31的耐磨、耐蚀性能.其中,Ar/N2流量比为11∶2时,获得的注N及直流磁控溅射Ti-TiN膜其耐磨、耐蚀性最好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴明忠		49	107	6.0	7.0
2	李慕勤		172	582	13.0	18.0
3	王晶彦		23	22	3.0	4.0
4	张德秋		16	9	2.0	2.0
5	王龙权		1	0	0.0	0.0