上海光源光束线石墨薄片材料的真空性能实验研究

• 作者: 刘俊男 薛松 陈明
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨薄片 真空性能 出气率 质谱分析
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 661-664
• 分类号: TB741
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.07.07

摘要

石墨薄片材料的出气率及放出气体成分是上海光源光束线真空系统优化的重要依据.因此,采用小孔流导法实验装置测试经不同清洗处理的石墨薄片的出气率,并且通过四极质谱计监测测试过程中放出气体的成分.结果表明,不同清洗处理对石墨薄片的出气率的影响不大,而烘烤是降低石墨薄片出气率的有效方法.石墨薄片出气率在未经烘烤时为10-8Pa·L·s-1·cm-2量级,在140℃经48h烘烤后为10-10Pa·L·s-1·cm-2量级.石墨薄片的残余气体谱图分析表明,与延长排气时间相比,烘烤是抽除石墨薄片吸附的清洗剂的有效措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈明	中国科学院上海应用物理研究所	53	296	7.0	16.0
2	薛松	中国科学院上海应用物理研究所	49	210	8.0	12.0
3	刘俊男	中国科学院上海应用物理研究所	5	5	1.0	2.0