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摘要:
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微机电系统技术及其应用
微机电系统
组成及特征
材料特性及加工工艺
应用领域
片上系统与微机电系统
片上系统
微机电系统
市场分析
电子信息
微机电系统的发展与应用
MEMS
传感器
执行器
纳米技术
工艺
微机电系统微弹簧优化设计方法
微机电系统
微弹簧
弹性系数
优化设计
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 微机电系统发起健康医疗革命
来源期刊 工业设计 学科
关键词
年,卷(期) 2013,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 54
页数 分类号
字数 957字 语种 中文
DOI
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相关学者/机构
期刊影响力
工业设计
月刊
1672-7053
23-1516/T
大16开
黑龙江省哈尔滨市
14-339
2005
chi
出版文献量(篇)
9134
总下载数(次)
45
总被引数(次)
7576
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