140GHz MEMS矩形波导滤波器

• 作者: 单光存 杜亦佳 苏伟 赵兴海 郑英彬 陈颖慧 鲍景富
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 波导滤波器 太赫兹 DRIE
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 165-169
• 页数: 5页
• 分类号: TN713
• 字数: 1807字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1010.2013.00165

摘要

设计并实现了一种采用微机械制造(MEMS)技术加工的D波段矩形波导膜片滤波器.采用有限元仿真软件HFSS分析了滤波器内腔镀膜厚度、粗糙度以及感性膜片厚度对滤波器主要性能的影响.采用MEMS深刻蚀工艺(DRIE)成功加工出了滤波器主体结构.通过完成结构深刻蚀、金属电镀和键合等关键工艺,首次制造出了D波段MEMS波导滤波器.样品测试结果为插入损耗0.4～0.7 dB,中心频率(140±3)GHz,带外抑制为≥18 dB,样品主要技术指标与设计值符合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鲍景富		51	296	7.0	14.0
2	苏伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	92	541	12.0	16.0
3	赵兴海	中国工程物理研究院电子工程研究所	34	240	9.0	14.0
4	杜亦佳		8	23	2.0	4.0
5	郑英彬	中国工程物理研究院电子工程研究所	22	115	7.0	9.0
6	陈颖慧	中国工程物理研究院电子工程研究所	15	82	6.0	8.0
7	单光存	香港城市大学物理与材料科学系	1	7	1.0	1.0