MEMS压力传感器介绍

• 作者: 李大宗 马奎
• 来源期刊: 河北农机
• 关键词: 微型传感器 MEMS器件 压力传感器
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 综合论述
• 页码范围: 75-76
• 页数: 2页
• 字数: 2604字
• 语种: 中文

摘要

MEMS器件具有重量轻、体积小、功耗低等优点,可以很好地满足各种电子设备的要求,将MEMS的微型传感器用于检测相关参数的功能,已经成为各个领域发展的主要方向之一.与传统的传感器相比,微型传感器具有许多新特性,它能够弥补传统传感器的不足,具有广泛的应用前景.文中详细绍了MEMS压力传感器件的结构、原理和使用方法,以及MEMS压力传感器的基本性能特点和微型传感嚣的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马奎	中北大学机电工程学院	2	7	1.0	2.0
2	李大宗	中北大学机电工程学院	2	7	1.0	2.0