阴极面板表面等离子清洗技术研究

• 作者: 何开远 周善堃 唐钦 李廷涛 李顺平 陆胜林
• 来源期刊: 云光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多碱光电阴极 等离子清洗 酒石酸浸泡 表面活性 表面清洁度
• 年，卷（期）: ygjs_2013,（1）
• 页码范围: 29-32
• 页数: 4页
• 分类号: TN204

摘要

多碱光电阴极Na2KSb（Cs）膜层的生长质量及阴极灵敏度与其阴极面板的表面活性、清洁度等紧密相关。阴极面板的传统清洗方法是利用酒石酸溶液进行浸泡并超声清洗，其清洗效率低、浪费资源、污染环境。在接触、了解了等离子清洗技术后，提出了一种利用等离子清洗的方法对阴极面板进行表面处理。试验结果表明，该清洗方法具有处理效率高、成本低、对环境无污染、提高阴极面板表面活性等优点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐钦		3	0	0.0	0.0
2	李廷涛		8	3	1.0	1.0
3	周善堃		1	0	0.0	0.0
4	何开远		1	0	0.0	0.0
5	陆胜林		2	1	1.0	1.0
6	李顺平		1	0	0.0	0.0