浅析磁控溅射氧化锡镀膜工艺

• 作者: 杨建社 郭明
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 氧化锡 气体流量 阴极电压
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 玻璃深加工
• 页码范围: 27-33
• 页数: 7页
• 分类号: TQ171
• 字数: 6098字
• 语种: 中文

摘要

通过对磁控溅射氧化锡镀膜工艺的研究,指出在不同溅射功率、不同工艺气体流量下,如何稳定、高效地控制氧化锡磁控溅射镀膜工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭明		8	4	1.0	1.0
2	杨建社		3	1	1.0	1.0