高酸低铜酸性镀铜溶液中添加剂对微盲孔填充效果的影响

• 作者: 任少军 姚龙杰 王增林 路旭斌
• 来源期刊: 电镀与精饰
• 学科: 工学
• 关键词: 旋转圆盘电极 微盲孔填充 添加剂 电镀参数 酸性镀铜
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 15-20
• 页数: 6页
• 分类号: TQ153.14
• 字数: 5100字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3849.2013.08.004

摘要

在电镀铜填充微盲孔的高酸、低铜酸性镀铜溶液中,以旋转圆盘电极为辅助,通过恒电流计时电位法对不同转速下,不同添加剂浓度的电镀铜溶液阴极电位及电位差的测定,研究了在高酸、低铜酸性镀铜溶液中通过电位差的大小来指导微盲孔填充的方法,发现该方法在对于高深径比的微盲孔填充时存在一定的局限性.通过改善电镀参数实现了对d为100 μm,深度为100 μm的微盲孔的完全填充.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王增林	陕西师范大学化学化工学院应用表面与胶体化学教育部重点实验室	15	49	5.0	6.0
2	姚龙杰	陕西师范大学化学化工学院应用表面与胶体化学教育部重点实验室	1	7	1.0	1.0
3	路旭斌	陕西师范大学化学化工学院应用表面与胶体化学教育部重点实验室	2	8	1.0	2.0
4	任少军	陕西师范大学化学化工学院应用表面与胶体化学教育部重点实验室	1	7	1.0	1.0