纳米膜隧穿效应微陀螺的结构设计与加工

• 作者: 刘俊 李孟委 李锡广 杜康 郑伦贵
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 隧穿效应 微机械陀螺 模态匹配 MEMS加工 砷化镓
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体器件
• 页码范围: 10-15
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2013.01.003

摘要

基于GaAs材料和器件的制造工艺,介绍了纳米膜隧穿器件和微陀螺的结构设计方法和工艺加工方法.阐述了基于纳米膜隧穿效应微陀螺的工作原理,对纳米膜隧穿器件和微陀螺的结构进行了设计,分析了微陀螺的模态频率设计和匹配仿真.采用反应离子刻蚀(RIE)刻蚀和感应耦合等离子体(ICP)刻蚀方法分别对隧穿器件和微陀螺结构进行了加工,利用扫描电镜观测,加工结果较好.利用冲击信号测试了微陀螺的频率响应,讨论了微陀螺的模态频率测试结果和匹配情况,证明微陀螺在驱动方向和检测方向上能够工作且模态频率匹配程度较好.实验结果表明,提出的GaAs材料微陀螺结构设计方法和工艺加工方法是可行的,能够应用于GaAs基微陀螺结构设计与制造.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李孟委	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	30	75	5.0	7.0
5	李锡广	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	4	19	3.0	4.0
9	杜康	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	8	39	3.0	6.0
10	郑伦贵	中北大学电子测试技术重点实验室	3	11	1.0	3.0