利用压电陶瓷产生标准间隙的装置设计

• 作者: 李淑映
• 来源期刊: 自动化与信息工程
• 关键词: 压电陶瓷 压电效应 逆压电效应 标准间隙 装置设计
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: * 经验交流 *
• 页码范围: 42-44,48
• 页数: 4页
• 字数: 2700字
• 语种: 中文

摘要

研究压电陶瓷产生连续可调标准间隙的机理，设计利用压电陶瓷产生标准间隙的装置架构模型，开发了装置的压电驱动器、电压驱动PID闭环控制系统、直流驱动电源关键部件，最后对整个装置性能进行测试。该系统θX、θY偏摆范围从1 mrad到12 mrad，Z方向行程范围从7μm到60μm，实现亚毫秒响应速度和亚微弧定位精度，最大偏摆范围达±6 mrad。该装置具有精度高、测量链短、读数准确性高、连续可调等特点。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李淑映		4	3	1.0	1.0