Lu2Ti2O7薄膜的溶胶凝胶合成及电学特性

• 作者: 李宝让 杨智伟 杨洋 程伟良
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 物理学
• 关键词: Lu2Ti2O7薄膜 溶胶凝胶法 电子显微镜 电学性能 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 3050-3057
• 页数: 8页
• 分类号: O484.42
• 字数: 3785字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132112.3050

摘要

研究了Lu2Ti2O7薄膜的结构、制备和性能.以Si作为基体,采用溶胶凝胶法研究了各种因素:煅烧温度、保温时间、转速和涂层的数量等对薄膜质量包括表面均方根粗糙度等的影响,并在此基础上研究了薄膜的电学性能.研究表明:在650～1 050 ℃能够形成Lu2Ti2O7相,在750 ℃时能够获得Lu2TiO5含量较少的理想薄膜.研究同时表明:温度对表面均方根粗糙度影响相对较大.Lu2Ti2O7薄膜电学性能研究表明:保温时间有利于Lu2Ti2O7的低温相变和Lu2TiO5相的形成,但是对薄膜电学性能的影响相对较小.采用硝酸镥和二氧化钛作为前驱体,通过溶胶凝胶法可以制备致密的Lu2Ti2O7薄膜,该薄膜制备过程中有中间相Lu2 Ti5产生,但该相可通过改变前驱体比例、延长保温时间或者提高煅烧温度来消除.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程伟良	华北电力大学能源动力与机械工程学院	58	562	14.0	21.0
2	杨洋	华北电力大学能源动力与机械工程学院	11	77	6.0	8.0
3	李宝让	华北电力大学能源动力与机械工程学院	12	68	5.0	8.0
4	杨智伟	华北电力大学能源动力与机械工程学院	8	21	3.0	4.0