ITO电极的湿膜光刻与干膜光刻制备研究

• 作者: 严慧敏 刘桂林 朱冰洁 朱华新 李帅 李果华 郭颖
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 湿膜光刻 干膜光刻 OCT ITO电极
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 页码范围: 1143-1147
• 页数: 5页
• 分类号: TN27
• 字数: 3053字
• 语种: 中文

摘要

聚合物太阳电池的制备中,阳极ITO的制备是决定器件效率的重要工艺之一.本文主要对ITO电极的湿膜光刻和干膜光刻制备方法进行了比较,并用光学相干断层扫描(OCT)技术等方法对制备的电极进行了检测,结果表明湿膜光刻可以获得较为精细的电极结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭颖	江南大学理学院	20	69	5.0	7.0
2	朱华新	江南大学理学院	30	52	5.0	5.0
3	刘桂林	江南大学物联网工程学院	22	41	4.0	5.0
4	李帅	江南大学理学院	22	46	4.0	5.0
5	严慧敏	江南大学理学院	11	30	3.0	4.0
6	朱冰洁	江南大学理学院	8	12	2.0	2.0