真空蒸发制备CdSexTe1-x薄膜及其性能研究

• 作者: 冯松 刘永生 李蓉萍 田磊 邹凯
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空蒸发 CdSexTe1-x薄膜 光学性能 薄膜制备
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 15-18
• 页数: 4页
• 分类号: TK514
• 字数: 2757字
• 语种: 中文

摘要

按不同比例混合CdTe和CdSe两种化合物,利用真空蒸发法在玻璃衬底上制备了CdSexTe1-x三元化合物薄膜,分别利用XRD、SEM、EDX、XPS、紫外-可见分光光度计对薄膜的物相结构、表面形貌、元素组成以及光学性能进行了测试,分析了x值和热处理对薄膜的影响.测试结果表明,薄膜均为立方闪锌矿结构的CdSexTe1-x三元化合物,沿(111)晶面择优生长,晶格常数与x呈线性递减关系;随x值增加薄膜的光学带隙逐渐减小,x=0.57时减小到最小值1.41 eV,然后又增大;升高热处理温度,可以改善薄膜的结晶程度,增加对光的吸收范围,减小光学带隙.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田磊	内蒙古自治区高等学校半导体光伏技术重点实验室	4	3	1.0	1.0
2	邹凯	内蒙古大学物理科学与技术学院	9	16	2.0	3.0
3	刘永生	内蒙古大学物理科学与技术学院	7	9	2.0	2.0
4	李蓉萍	内蒙古自治区高等学校半导体光伏技术重点实验室	6	13	2.0	3.0
5	冯松	内蒙古大学物理科学与技术学院	6	12	2.0	3.0