基于背景光调制的复合光傅里叶变换轮廓术

• 作者: 曹益平 李洋 武迎春
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 复合光栅 频谱混叠 滤波 背景光调制 π相移技术
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 7-11
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 2614字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132501.0007

摘要

提出一种基于背景光调制的用于傅里叶变换轮廓术测量范围的复合光栅,该光栅通过调制一正弦条纹和不含任何相位信息的背景光来抑制零频,较基于π相移技术的复合光栅有更大的优势:背景光只含直流分量,使得复合光栅的频谱更加简单,有利于滤出载波信息,提高测量精度;对从复合光栅中解调出来的背景光只涉及平均值校准,校准过程更为简单;解调出的背景光与物体表面的反射率成正比,具有潜在的应用价值.采用Matlab程序对该复合光栅进行了数值模拟,并对该光栅实用性进行了实验研究,结果证实了该光栅用于抑制零频、扩大傅里叶变换轮廓术测量范围的有效性,且提高了测量精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹益平	四川大学光电科学技术系	136	874	15.0	24.0
2	李洋	四川大学光电科学技术系	56	224	10.0	12.0
3	武迎春	四川大学光电科学技术系	11	42	4.0	6.0