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同轴配对电子回旋共振放电产生的等离子体磁场约束的影响
同轴配对电子回旋共振放电产生的等离子体磁场约束的影响
作者:
佟瑞宏
吕奕
陈庚顺
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
电子回旋共振 ( ECR )
等离子体
磁约束
会切磁场约束
摘要:
运用朗缪尔探针诊断技术对同轴配对电子回旋共振产生等离子体磁场约束的影响进行了研究。在磁镜约束条件下,电子回旋共振源轴线附近等离子体的密度非常高,但是随着径向距离的增加等离子体的密度会迅速下降;而在会切磁场约束条件下,离子体的密度相对较低却分布均匀。这种趋势与电子温度和等离子体电势的情形类似,并且这种特性可应用于各种材料加工以满足不同的需求。
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文献信息
篇名
同轴配对电子回旋共振放电产生的等离子体磁场约束的影响
来源期刊
辽东学院学报(自然科学版)
学科
物理学
关键词
电子回旋共振 ( ECR )
等离子体
磁约束
会切磁场约束
年,卷(期)
2013,(4)
所属期刊栏目
【机械与电子工程】
研究方向
页码范围
253-256
页数
4页
分类号
O532.11
字数
1235字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
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1
佟瑞宏
辽东学院机电学院
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吕奕
辽东学院机电学院
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陈庚顺
辽东学院机电学院
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节点文献
电子回旋共振 ( ECR )
等离子体
磁约束
会切磁场约束
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
辽东学院学报(自然科学版)
主办单位:
辽东学院
出版周期:
季刊
ISSN:
1673-4939
CN:
21-1533/N
开本:
16开
出版地:
辽宁省丹东市振安区临江后街116号
邮发代号:
创刊时间:
1994
语种:
chi
出版文献量(篇)
1659
总下载数(次)
4
总被引数(次)
4955
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