投影物镜小比率模型系统补偿量的选择

• 作者: 巩岩 赵阳
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 投影物镜 复杂系统装调 补偿量选择 灵敏度矩阵 宏模块
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 3029-3036
• 页数: 8页
• 分类号: TN305.7|O435.2
• 字数: 2383字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132112.3029

摘要

由于光刻投影物镜小比率模型光学系统的光学元件数量较多,用每个补偿量去补偿对应失调量的传统装调方法已不适用.本文利用灵敏度矩阵,通过找出偏心补偿量和倾斜补偿量的内在联系来缩小补偿量的选择范围.然后根据失调量敏感度的分析,提出了选择系统补偿量的方法.利用这个方法,选择4个补偿量便使补偿后的光学系统成像质量满足设计指标要求,减少了光学系统的装调难度.最后,编写宏模块完成大量仿真计算,验证了敏感度分析的正确性.光学系统初装完成后,对系统进行了预装调.实验结果表明,补偿后系统波像差(RMS)由50.9 nm提高到25.9 nm,优于技术指标要求,证明了本文提出的补偿量选择方法的正确性和有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巩岩	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	72	423	13.0	17.0
2	赵阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	32	397	12.0	19.0