TiO2/ZrO2掺杂MAS系LTCC生带的烧结致密化研究*

• 作者: 张孔
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 掺杂 粒径 烧结致密化
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 28-31
• 分类号: TN305
• 字数: 2190字
• 语种: 中文

摘要

文章以掺杂TiO2/ZrO2的MAS(MgO-Al2O3-SiO2)系微晶玻璃作为功能相,采用流延法制成生带并最终烧结成型.系统地研究了掺杂、粉体粒径、烧结条件等对LTCC基板收缩性能和致密性的影响.结果表明:通过成核剂TiO2/ZrO2的掺杂,能有效降低基板烧结温度,提高烧结致密性;粉体粒径对生带烧结后的致密性影响较大,粒径越小生带致密化程度越高,同时收缩率也越大.同时通过对比不同烧结条件下样品的致密性,确定了MAS系LTCC生带的最佳烧结曲线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张孔		5	17	2.0	4.0