退火温度对Bi3.15(Eu0.7Nd0.15)Ti3O12铁电薄膜力学性能的影响

• 作者: 彭金峰 朱哲 蒋大洞 郑学军 龚跃球
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 弹性模量 硬度 残余应力 退火温度
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 131-135
• 页数: 5页
• 分类号: TQ174
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1077.2013.12201

摘要

利用金属有机物分解法(MOD)在Pt/Ti/SiO2/Si(111)衬底上制备了Bi3.15(EU0.7Nd0.15)Ti3O12 (BENT)薄膜,并经600℃、650℃、700℃、750℃退火处理.通过纳米压痕法测试了薄膜的硬度和弹性模量,采用X射线衍射(XRD)测量了薄膜的残余应力.BENT薄膜的晶粒尺寸随着退火温度的升高而不断变大.当晶粒尺寸从37 nm增大到46 nm时,薄膜的硬度值从8.4 GPa减少到3.1 GPa,弹性模量从171.5 GPa减小到141.6 GPa.随着退火温度从600℃升高到750℃时,薄膜的残余压应力值从-743 MPa减小到了-530 MPa.退火温度为600℃的BENT薄膜具有最大的硬度和弹性模量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚跃球		21	39	4.0	5.0
2	郑学军		38	111	5.0	10.0
3	朱哲		9	3	1.0	1.0
4	彭金峰		3	1	1.0	1.0
5	蒋大洞		1	0	0.0	0.0